本文件規(guī)定了用于降解電子級(jí)水總有機(jī)碳（TOC）紫外線系統(tǒng)的術(shù)語(yǔ)和定義、工藝設(shè)計(jì)、質(zhì)量控制、安裝、調(diào)試、驗(yàn)收、運(yùn)行維護(hù)與安全防護(hù)。