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二維材料厚度測量 原子力顯微鏡法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： T/CSTM 00003-2019
替代情況：
發(fā)布單位： 中關(guān)村材料試驗(yàn)技術(shù)聯(lián)盟
起草單位：
發(fā)布日期： 2019-01-03
實(shí)施日期： 2019-04-01
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更新日期： 2026年02月13日
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內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了二維材料厚度測量　原子力顯微鏡法的原理、儀器設(shè)備、樣品前處理、測試方法、厚度計(jì)算方法、測量結(jié)果的不確定度評定及測試報(bào)告。


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