本文件描述了硅單晶中氮含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法。本文件適用于硼、銻、砷、磷的摻雜濃度小于1×10??20? cm??-3?（0.2%）的硅單晶中氮含量的測(cè)定，測(cè)定范圍不小于1×10??14? cm??-3?。注： 硅單晶中氮含量以每立方厘米中的原子數(shù)計(jì)。