本標準規(guī)定了微幾何量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規(guī)則。
本標準適用于企業(yè)、研究機構(gòu)、檢測機構(gòu)等從事微機電技術(shù)及產(chǎn)品的研究、設(shè)計、生產(chǎn)、檢測。