本標準規(guī)定了三氯化硼的技術要求、試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。 
      本標準適用于以粗制三氯化硼為原料，采用吸附、精餾等方法提純制得的三氯化硼，主要用于半導體器件生產(chǎn)所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。