本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體氮的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于以深冷法從空氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氮,以及經(jīng)電化學(xué)方法得到的氮。它們在超大規(guī)模集成電路制造中用作保護、吹掃、覆蓋、加壓,化學(xué)氣相淀積等。