本標準規(guī)定了氦的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于以深冷法從天然氣、空氣和工廠弛放氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氦,以及經純化方法得到的氦。它們在半導體制造中用作清洗氣、加壓氣,也用作載氣和保護氣等。