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集成電路及半導(dǎo)體行業(yè)特氣使用安全風(fēng)險及要求解析

		更新日期： 2026年03月13日	點擊數(shù)：
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備注：公眾號：安環(huán)健資料庫
備注：1
目錄
CONTENTS
特氣安全事故案例
02

特氣使用安全風(fēng)險
03

特氣安全使用要求
04

特氣在IC中的應(yīng)用
01

特氣事故應(yīng)急處置
05

01特氣在IC中的應(yīng)用

術(shù)語
4
特種氣體 
specialty gas
電子產(chǎn)品生產(chǎn)外延、化學(xué)氣相沉積、刻蝕、摻雜等工藝中使用的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性等特殊氣體。
大宗特種氣體
bulk specialty gas
一般指單個氣體設(shè)備容積大于400L的特種氣體。
氣體純度
gas purity
5N 純度為 99.999%，5.5N純度為 99.9995%。
備注：GB50646-2020《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)》  特種氣體及大宗氣體定義
備注：4
術(shù)語
5
序號	中文	英文	縮寫
1	氣瓶柜	gas cabinet	GC
2	氣瓶架	gas rack	GR
3	閥門箱	valve manifold box	VMB
4	閥門盤	valve manifold panel	VMP
5	尾氣處理裝置	scrubber	
6	吹掃	purge	
7	排氣	vent	
8	氣體面板	gas panel	
9	氣體探測系統(tǒng)	gas detector system	GDS
GC
GR
VMP
VMB
備注：VS是什么意思
【英文縮寫】 VS【英文全稱】 Valve Set

②GC（氣柜）
GC的工作原理與BSGS相同，但GC的密封性更好，且鋼瓶是放在氣柜內(nèi)的。GC有更強的防爆功能。但GC的氣體流量沒有BSGS大，其使用的閥門管道等配件尺寸都小于BSGS。
③GR（特氣架）
GR主要用于惰性氣體的輸送，GR內(nèi)主要部件和GC大體一致，減少了柜體和一些電子傳感器件，同時沒有自動吹掃功能，鋼瓶交換過程主要由人手動操作完成。

manifold
(technical 術(shù)語) 歧管（汽車引擎用以進(jìn)氣和排氣）
a pipe or chamber with several openings for taking gases in and out of a car engine
歧管

scrubber
/?skr?b?(r)/
 (刷洗用的)刷子;婊子;淫蕩女人

備注：5
IC制造工藝與特氣的關(guān)系
6
襯底材料
清洗液
反應(yīng)氣
光刻膠氣
粘粘劑反應(yīng)氣
顯影劑
剝離液
刻蝕液
清洗液
摻雜氣
成膜氣
靶材
晶片
清洗
氧化
光 阻
涂 布
曝光
顯影
去膠
刻蝕
清洗
摻雜
化學(xué)機械拋光
氣 相
沉 積
濺射
刻蝕氣
清洗液
拋光液
集 成電 路
封裝
測試
背面金屬化
背 面減 薄
封 裝材 料
成膜氣
拋光液
備注：6
特氣具體應(yīng)用場景
7
Gas	Process	Module	Gas	Process	Module
 N2	Purge	All	SF6	介電質(zhì)工藝Clean gas	ETCH and CVD
NH3	氮化硅中氮的來源	CVD and DIFF	CHF3	介電質(zhì)工藝Clean gas	ETCH and CVD
PH3	PN結(jié)P來源	IMP and DIFF	Ar	等離子激發(fā)氣體	All
SiH4	硅沉積工藝中硅來源	CVD and DIFF	N2O	Si02沉積工藝中02來源	CVD
SiHCl3	硅沉積工藝中硅來源	CVD and DIFF	O2	TEOS制程中O來源	CVD
Cl2	多品硅和金屬蝕刻	ETCH	BCl3	多晶硅和金屬蝕刻	ETCH
HBr	單晶硅蝕刻	ETCH	B2H6	擴散工藝中B的來源	IMP and DIFF
CF4	介電質(zhì)工藝Clean gas	ETCH and CVD	......	......	......
備注：7
02特氣安全事故案例
特氣爆炸事故案例
9
時間：2005年11月23日
地點：臺南生產(chǎn)太陽能電池的MOTECH工廠
事故：硅烷鋼瓶發(fā)生爆炸
損失：一人當(dāng)場燒死，所有氣柜、面板及管線燒毀，直接經(jīng)濟損失130萬美金。
經(jīng)過：硅烷氣柜泄漏報警，操作工過去檢查，打開氣柜瞬間發(fā)生爆炸。
備注：自然的硅烷（克級實驗）
https://www.bilibili.com/video/BV1ws411Y7Vx/?spm_id_from=autoNext&amp;amp;vd_source=80aff6c4e73bf307362e57e268607a9e

瓶裝硅烷爆炸實驗
https://m.toutiao.com/is/i8j253ng/
備注：9
特氣泄露中毒事故案例
10
RH化工氯氣泄漏事故
備注：學(xué)習(xí)事故調(diào)查報告

備注：10
瓶裝特氣事故視頻
11
10·10燃?xì)獗ㄒ曨l
普通氣瓶事故視頻
備注：楊家巷安全事故
https://v.youku.com/v_show/id_XMTM1NjYzODE4OA==.html
https://www.chinanews.com.cn/m/sh/2016/04-20/7841777.shtml
https://v.youku.com/v_show/id_XNjAyMzg1MzcxMg==.html
氣瓶安全事故集
https://v.qq.com/x/page/u3232svwlmq.html
備注：11
03特氣安全風(fēng)險

特氣安全風(fēng)險
13
危害因素	風(fēng)險
壓力	爆炸
熱膨脹	爆炸
缺氧	窒息
易燃性	火災(zāi)、爆炸
氧化性	火災(zāi)、爆炸
毒性	中毒
腐蝕性	腐蝕、灼燒
低溫	凍傷
包裝重	砸傷
備注：13
特氣間布局圖
14
備注：14
特氣種類
15
備注：NO 燃爆危險：該品助燃，具刺激性。
備注：15
特氣爆炸極限
16
天然氣在空氣中的爆炸極限范圍是5%-15%
備注：爆炸下限lower explosion limit(LEL)，可燃?xì)怏w發(fā)生爆炸時的下限濃度(V%)值。
爆炸上限upper explosion limit(UEL)，可燃?xì)怏w發(fā)生爆炸時的上限濃度(V%)值。
當(dāng)可燃物濃度低于爆炸下限時,可燃物太少不能形成燃燒的鏈反應(yīng)。
在高于爆炸上限時,空氣不足,導(dǎo)致火焰不能蔓延不會爆炸,但能燃燒。

備注：16
特氣職業(yè)接觸限值
17
職業(yè)接觸限值(OEL)，是職業(yè)性有害因素的結(jié)束限制量值。
最高容許濃度(MAC)，工作地點在一個工作日內(nèi)、任何時間有毒化學(xué)物質(zhì)均不應(yīng)超過的濃度。
時間加權(quán)平均容許濃度(PC-TWA)，以時間為權(quán)數(shù)規(guī)定的 8h 工作日40h 工作周的平均容許接觸濃度。
短時間接觸容許濃度(PC-STEL)在遵守時間加權(quán)平均容許濃度(PC-TWA)前提下容許短時間(15min)接觸的濃度。
12             CO                                   20              30
備注：職業(yè)接觸限值(OccupationalExposure Limit OEL)，是職業(yè)性有害因素的結(jié)束限制量值。
最高容許濃度maximum allowable concentration(MAC)，工作地點在一個工作日內(nèi)、任何時間有毒化學(xué)物質(zhì)均不應(yīng)超過的濃度。
時間加權(quán)平均容許濃度permissible concentration-time weighted average (PC-TWA)，以時間為權(quán)數(shù)規(guī)定的 8h 工作日40h 工作周的平均容許接觸濃度。
短時間接觸容許濃度permissible concentrationshort term exposure limit(PC-STEL)在遵守時間加權(quán)平均容許濃度(PC-TWA)前提下容許短時間(15min)接觸的濃度。
直接致害濃度immediately dangerous to life or health concentration(IDLH)，在工作地點,環(huán)境中空氣污染物濃度達(dá)到某種危險水平,如可致命或永久損害健康,或使人立即喪失逃生能力。

大連市應(yīng)急管理局
危險化學(xué)品安全措施和應(yīng)急處置原則---磷化氫
https://dlyj.dl.gov.cn/art/2013/6/21/art_5119_1811651.html

CO MAC0/PC-TWA20/PC-STEL30
備注：17
特氣膨脹率
18
氣體名稱	氣化膨脹率
液氬	848
液氧	860
液氮	693
液氦	749
液氫	845
備注：18
氧氣濃度對人體的影響
19
濃度	影響
19.5~23.5%	正常氧氣濃度。
15~19%	工作能力降低、呼吸感到費力。
12~14%	呼吸急促、脈搏加快，協(xié)調(diào)能力和感知判斷力降低。
10~12% 	呼吸減弱，嘴唇青紫。
8~10%	神志不清、昏厥、面色土灰、惡心和嘔吐。
6~8%	 大于等于8分鐘，100%死亡；6分鐘，50%可能死亡；4~5分鐘，可能恢復(fù)。
4~6% 	40秒后昏迷、抽搐、呼吸停止，直至死亡。
備注：19
低溫凍傷
20
-196℃
易發(fā)生凍傷事故
備注：20
04安全用氣要求

特氣容器分類
22
普通鋼瓶（50L及以下）
Y-鋼瓶（450L）
T-鋼瓶（980L)
集裝格（940L)
ISO罐（22500L)
魚雷車（13400L)
備注：氣容器t瓶整體呈現(xiàn)T字形，管口向兩邊延伸，而y瓶整體呈現(xiàn)Y字形，管口向左上和右上角延伸
備注：22
氣體壓縮過程
23
備注：http://www.360doc.com/content/12/0121/07/33743215_1076594421.shtml

半導(dǎo)體電子特氣概述

備注：23
固液氣三相平衡圖
24
臨界溫度: 使物質(zhì)由氣相變?yōu)橐合嗟淖罡邷囟冉信R界溫度,每種物質(zhì)都有一個特定的溫度,在這個溫度以上,無論怎樣增大壓強,氣態(tài)物質(zhì)不會液化,這個溫度就是臨界溫度。
備注：定義解釋
物質(zhì)處于臨界狀態(tài)時的溫度。
物質(zhì)以液態(tài)形式出現(xiàn)的最高溫度
高于臨界溫度.無論加多大壓力都不能使氣體液化,在臨界溫度時.使氣體液化所必須的最低壓力叫臨界壓力
臨界溫度越低,越難液化
例：水的臨界溫度是374.15攝氏度,臨界壓力是22.12兆帕.
氨氣的臨界溫度和臨界壓力分別為132.3℃和11.27MPa

例:氨氣的臨界溫度為-268℃，硅烷的臨界溫度為-3.4℃。

備注：24
氣體分類
25
壓縮氣體compressed gas(永久氣體 permanent gas)，臨界溫度小于等于-50℃的所有氣體。
液化氣體 liquefied gas，臨界溫度大于-50℃的氣體,是高壓液化氣體和低壓液化氣體的統(tǒng)稱。
高壓液化氣體 high pressure liquefied gas，臨界溫度大于-50℃，且小于或等于65℃的氣體
低壓液化氣體 low pressure liquefied gas，臨界溫度大于65℃的氣體
低溫液化氣體 refrigerated liquefied gas (cryogenic liquid gas)，臨界溫度低于或等于-55℃,在儲運過程中由于低溫而液化的氣體。
備注：https://www.doc88.com/p-4781672183158.html
氣瓶術(shù)語GB/T13005-2011
特種氣體 specialgas為滿足特定用途的氣體。
瓶裝氣體分類GB/T16163-2012

備注：25
液氮罐結(jié)構(gòu)
26
備注： CGA 是 Compressed Gas Association 的簡稱，字面的意思為“壓縮氣體協(xié)會”，實際上是指美國壓縮氣體協(xié)會，這個協(xié)會制定了不同種類的特殊氣體的接頭標(biāo)準(zhǔn)（特別是針對鋼瓶閥門的連接接頭），在這個標(biāo)準(zhǔn)中，針對各種特氣 使用了不相同的數(shù)字編號來區(qū)分接頭，
備注：26
氣瓶結(jié)構(gòu)
27
備注： CGA 是 Compressed Gas Association 的簡稱，字面的意思為“壓縮氣體協(xié)會”，實際上是指美國壓縮氣體協(xié)會，這個協(xié)會制定了不同種類的特殊氣體的接頭標(biāo)準(zhǔn)（特別是針對鋼瓶閥門的連接接頭），在這個標(biāo)準(zhǔn)中，針對各種特氣 使用了不相同的數(shù)字編號來區(qū)分接頭，
備注：27
氣瓶安全附件
28
瓶帽
瓶閥
防震圈
爆破片
易熔塞
備注：一、瓶帽:瓶帽是瓶閥的防護(hù)裝置，它可避免氣瓶在搬運過程中因碰撞而損壞瓶閥，保護(hù)出氣口螺紋不被損壞，防止灰塵、水分或油脂等雜物落人閥內(nèi)。
二、  瓶閥、瓶閥是控制氣體出入的裝置，一般是用黃銅或鋼制造。充裝可燃?xì)怏w的鋼瓶的瓶閥，其出氣口螺紋為左旋；盛裝助燃?xì)怏w的氣瓶，其出氣口螺紋為右旋。瓶閥的這種結(jié)構(gòu)可有效地防止可燃?xì)怏w與非可燃?xì)怏w的錯裝。　　 　
三、安全泄壓裝置
氣瓶的安全泄壓裝置，是為了防止氣瓶在遇到火災(zāi)等高溫時，瓶內(nèi)氣體受熱膨脹而發(fā)生破裂爆炸。
氣瓶常見的泄壓附件有爆破片和易熔塞?！?
(1)爆破片裝在瓶閥上，其爆破壓力略高于瓶內(nèi)氣體的最高溫升壓力。爆破片多用于高壓氣瓶上，有的氣瓶不裝爆破片?！稓馄堪踩O(jiān)察規(guī)程》對是否必須裝設(shè)爆破片，未做明確規(guī)定。氣瓶裝設(shè)爆破片有利有弊，一些國家的氣瓶不采用爆破片這種安全泄壓裝置。
(2)易熔塞一般裝在低壓氣瓶的瓶肩上，當(dāng)周圍環(huán)境溫度超過氣瓶的最高使用溫度時，易熔塞的易熔合金熔化，瓶內(nèi)氣體排出，避免氣瓶爆炸。
四、防震圈
1、防止氣瓶在沖裝、運輸、使用過程中對瓶體的震動，減少事故的發(fā)生。
2、防震圈一般兩只，分別安裝在瓶體上下部。
備注：28
氣瓶顏色標(biāo)志
29
備注：29
氣瓶充裝壓力
30
備注：

https://baike.baidu.com/video?lemmaId=8827806&amp;amp;secondId=24647876&amp;amp;bk_share=weixin&amp;amp;bk_sharefr=wapbaike

備注：30
氣瓶制造鋼印標(biāo)志
31
備注：氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程
備注：31
氣瓶定期檢驗鋼印標(biāo)志
32
定期檢驗鋼印標(biāo)記，可打在氣瓶瓶體、銘牌或者護(hù)罩上，如圖 B-4a)所示;也可打在金屬檢驗標(biāo)志環(huán)上，如圖 B-4 (b) 所示.
備注：氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程
備注：32
氣瓶檢驗周期
33
序號	類別	檢驗周期	舉例
1	盛裝惰性氣體及純度大于等于99.999%的無腐蝕性高純氣體的氣瓶	5年	氮氣、氦氣、六氟化硫
2	盛裝對瓶體材料能產(chǎn)生腐蝕作用的氣體的氣瓶、潛水氣瓶以及常與海水接觸的氣瓶	2年	硫化氫、液氯、液氨
3	盛裝其他氣體的氣瓶	3年	氧氣、二氧化碳
備注：氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程
盛裝氮、六氟化硫、惰性氣體及純度大于等于99.999%的無腐蝕性高純氣體的氣瓶，每5年檢驗1次。
盛裝對瓶體材料能產(chǎn)生腐蝕作用的氣體的氣瓶、潛水氣瓶以及常與海水接觸的氣瓶，每2年檢驗1次。如:硫化氫、液氯、液氨 。
盛裝其他氣體的氣瓶，每3年檢驗1次 如：氧氣、二氧化碳 。
備注：33
氣瓶使用年限
34
備注：《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》
備注：34
氣瓶安全使用要求
35
在使用新氣體前,務(wù)必閱讀該氣體MSDS，按要求穿戴PPE。
核對氣瓶標(biāo)簽內(nèi)容是否符合實驗要求。
氣瓶的外表是否存在腐蝕、變形、磨損、裂紋等嚴(yán)重缺陷。
氣瓶的附件(防震圈、瓶帽、瓶閥)是否齊全、完好。
氣瓶是否超過定期檢驗周期。
氣瓶的使用狀態(tài)(滿瓶、使用中、空瓶)清晰。
備注：防止液態(tài)氣體與罐體摩擦產(chǎn)生靜電，放電而引起爆炸。放到地上就可以隨時導(dǎo)走電荷。
備注：35
氣瓶安全使用要求
36
不相容氣瓶分開存放。
 瓶內(nèi)氣體不得用盡，必須留有剩余壓力。
易燃易爆液體氣瓶不得放在橡膠等絕緣體上，以防止產(chǎn)生靜電火花。
打開氣瓶閥門時，人要站在氣瓶出氣口側(cè)面。
開啟或關(guān)閉瓶閥應(yīng)緩慢，以防止產(chǎn)生摩擦熱或靜電火花。
氣瓶應(yīng)立放使用，嚴(yán)禁臥放，并應(yīng)采取防止傾倒的措施。
備注：防止液態(tài)氣體與罐體摩擦產(chǎn)生靜電，放電而引起爆炸。放到地上就可以隨時導(dǎo)走電荷。
備注：36
氣瓶安全使用要求
37
裝卸氣瓶時，必須配好瓶帽(有保護(hù)罩的除外)，防止瓶閥受力損傷。
使用手推車移動氣瓶，鋼瓶在手推車上必須固定好，僅短距離才允許用手搬運鋼瓶。
裝卸中輕裝輕卸，嚴(yán)禁拋、滑、滾、碰。
人工搬運氣瓶時，應(yīng)手盤瓶肩，轉(zhuǎn)動瓶底，不得拖拽、滾動或用腳蹬踹。
卸車時，應(yīng)在氣瓶落地點鋪上軟墊或橡膠皮墊，逐個卸車，嚴(yán)禁溜放。
裝卸氧氣瓶時，工作服、手套和裝卸工具、機具上不得粘有油脂。
備注：37
氣瓶安全使用要求
38
氣瓶放置地點不得靠近熱源。
氣瓶應(yīng)防止曝曬、雨淋、水浸，環(huán)境溫度超過40℃時，應(yīng)采取遮陽等措施降溫。
氣瓶瓶閥或減壓器有凍結(jié)、結(jié)霜現(xiàn)象時，不得用火烤，可將氣瓶移入室內(nèi)或氣溫較高的地方，或用40℃以下的溫水沖澆，再緩慢地打開瓶閥。
嚴(yán)禁用溫度超過40℃的熱源對氣瓶加熱。
備注：禁止用任何熱源對氣瓶進(jìn)行加熱。---氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程
備注：38
特氣安全其它要求
39
氣瓶柜閉門時應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓，柜內(nèi)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/h。
具有自燃性、劇毒性、強腐蝕性的特種氣體，宜采用雙套管設(shè)計。
低蒸汽壓特種氣體的管道應(yīng)設(shè)置伴熱和保溫措施，加熱溫度不宜超過50℃。
采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)
特氣體站房應(yīng)設(shè)置連續(xù)的機械通風(fēng)，通風(fēng)量應(yīng)滿足氣瓶柜的排風(fēng)要求，且特種氣體站房通風(fēng)換氣率不應(yīng)低于18m3/(h.m2)。
 特種氣體氣瓶柜、閥門箱應(yīng)設(shè)置機械排風(fēng)裝置。
大宗特種氣體站房應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng)，事故通風(fēng)量宜根據(jù)事故泄漏量計算確定，但房間換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h。事故通風(fēng)應(yīng)與特種氣體站房環(huán)境探測器進(jìn)行聯(lián)鎖，并應(yīng)在特種氣體站房外設(shè)置事故通風(fēng)緊急按鈕。
特種氣體站房宜設(shè)置空調(diào)系統(tǒng)，室內(nèi)溫度、濕度設(shè)計參數(shù)應(yīng)滿足氣瓶柜的要求，當(dāng)氣瓶柜無具體要求時，室內(nèi)設(shè)計參數(shù)宜滿足溫度為 23℃±5℃，濕度為30%～70%的環(huán)境要求。
低蒸汽壓特種氣體管路應(yīng)安裝伴熱帶并用保溫棉包覆管路，當(dāng)管道穿越溫差較大區(qū)域時應(yīng)分段加熱。
備注：39
05特氣事故應(yīng)急處置
特氣偵測器報警值設(shè)定
41
氣體類型	一級報警	二級報警
可燃?xì)怏w	≤25% LEL	≤50% LEL
劇毒性、毒性氣體	≤50% TWA	≤100% TWA
惰性氣體	≥19.5% O2(V/V)	≥18% O2(V/V)
二氧化碳?xì)怏w	5000 ppm	5000 ppm
備注：《石油化工可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測報警設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》
有毒氣體的一級報警設(shè)定值應(yīng)小于或等于 100%OEL,有毒氣體的二級報警設(shè)定值應(yīng)小于或等于 200%OEL。
當(dāng)現(xiàn)有探測器的測量范圍不能滿足測量要求時,有毒氣體的一級報警設(shè)定值不得超過 5%IDLH,有毒氣體的二級報警設(shè)定值不得超過 10%IDLH。
GB50646-2020《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)》
 劇毒性、毒性氣體的一級報警設(shè)定值不應(yīng)大于 50%TLV-TWA，二級報警設(shè)定值不應(yīng)大于100%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值一時間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)。

有毒氣體檢測儀之閾值(TLV)說明
閾限值（threshold limit value，TLV）是美國政府工業(yè)衛(wèi)生學(xué)家委員會（ACGIH）推薦的生產(chǎn)車間空氣中有害物質(zhì)的職業(yè)接觸限值。為絕大多數(shù)工人每天反復(fù)接觸不致引起損害作用的濃度。由于個體敏感性的差異，在此濃度下不排除少數(shù)人出現(xiàn)不適、既往疾病惡化。
閾限值是指7—8個小時工作日，每周40小時內(nèi)所接觸有害物質(zhì)的平均濃度值，故此值可允許在一定限度內(nèi)波動。

有毒氣體檢測儀的閾值(TLV)分為兩種情況:平均閾值(TLV-TWA)和瞬時閾值(TLV－STEL).所謂閾值,英文:Threshold Limit Values表示的是當(dāng)某種氣體在空氣中的含量小于這一閾值時，充分且持續(xù)暴露于該環(huán)境中的工人的健康不會受到損害。參考這個值時必須以國家頒布的標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，且應(yīng)采用最新的修正值。其中:平均閾值(TLV-TWA)表示環(huán)境中以時間加權(quán)的平均濃度值。絕大多數(shù)工人按8小時每天，40小時每周的安排在這個環(huán)境中工作時，不會有健康方面的問題.瞬時閾值(TLV－STEL)這個參數(shù)被定義為一個15分鐘的加權(quán)平均值，在一個工作日的任意時刻工作場所中某種有害氣體的濃度都不得超過其指定的閾值，即使在這一天中總的加權(quán)平均值達(dá)到了平均閾值。一天當(dāng)中超過平均閾值且低于瞬時閾值的次數(shù)不得大于4次，每次的持續(xù)時間必須小于15分鐘.

可燃?xì)怏w的一級報警設(shè)定值應(yīng)小于或等于 25%LEL，二級報警設(shè)定值應(yīng)小于或等于 50%LEL。
 劇毒性、毒性氣體的一級報警設(shè)定值應(yīng)小于或等于50%TLV-TWA，二級報警設(shè)定值應(yīng)小于或等于100%TLV-TWA。
設(shè)在惰性氣體間的氧氣探測器，其一級報警設(shè)定值不應(yīng)小于19.5%氧氣體積濃度(V/V)，二級報警設(shè)定值不應(yīng)小于18%氧氣體積濃度(V/V)。
 二氧化碳?xì)怏w系統(tǒng)宜設(shè)二氧化碳?xì)怏w探測器，其報警設(shè)定值應(yīng)為5000ppm。
備注：41
特氣應(yīng)急處置
42
關(guān)氣
疏散
滅火
硅烷滅火注意事項：
發(fā)生硅烷火災(zāi)時，應(yīng)緊急切斷硅烷氣源，在未切斷氣源的情況下，嚴(yán)禁撲滅硅烷火焰。
發(fā)生硅烷火災(zāi)時，應(yīng)使用水對鋼瓶、儲罐等進(jìn)行冷卻。
不應(yīng)使用鹵代烷類及二氧化碳滅火器。

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