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電子工業(yè)用氟化氫中雜質(zhì)的測定色譜法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： DB13/T 5874-2023

替代情況：

發(fā)布單位：河北省市場監(jiān)督管理局

起草單位：中船（邯鄲）派瑞特種氣體有限公司

發(fā)布日期： 2023-10-25

實(shí)施日期： 2023-11-25

點(diǎn) 擊數(shù)：

更新日期： 2023年12月25日

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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了電子工業(yè)用氟化氫中雜質(zhì)的測定原理、試劑或材料、儀器設(shè)備、樣品、測定步驟及結(jié)果處理等。

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