本規(guī)范適用于流量范圍為10 mL/min~30 L/min,通過控制流量對(duì)氣體進(jìn)行定量稀釋的氣體稀釋裝置(以下簡稱稀釋裝置)的校準(zhǔn)。其它用于氣體流量控制和配比的裝置,可參照本規(guī)范進(jìn)行校準(zhǔn)。
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