本標準規(guī)定了X射線光電子能譜(XPS，X-rayPhotoelectronSpectroscopy或ESCA，ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis)的一般表面分析方法以及相關(guān)的表面化學分析術(shù)語的含義，適用于X射線光電子能譜儀。