本標準規(guī)定了硅單晶腐蝕片的牌號及分類、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單（或合同）內(nèi)容。
? ?本標準適用于直拉法、懸浮區(qū)熔法（包括區(qū)熔中子嬗變和氣相摻雜）制備的硅單晶研磨片經(jīng)化學腐蝕液去除表面損傷層后制備的酸腐蝕片和堿腐蝕片。產(chǎn)品主要用于制作晶體管、整流管、特大功率晶閘管、光電器件等半導體元器件或進一步加工成硅拋光片。