本標準規(guī)定了多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的分析方法。
本標準適用于改良西門子法工藝還原爐和氫化爐尾氣成分（氫氣、氯化氫、三氯氫硅、二氯二氫硅和四氯化硅）的測定。本標準的檢測范圍為體積分數(shù)0.1%～100%。