本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了應(yīng)用掃描表面檢查系統(tǒng)對拋光片、外延片等鏡面晶片表面的局部光散射體進(jìn)行測試，對局部光散射體與延伸光散射體、散射光與反射光進(jìn)行區(qū)分、識別和測試的方法。