本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用直角坐標(biāo)和極坐標(biāo)建立晶片正面坐標(biāo)系、背面坐標(biāo)系和三維坐標(biāo)系的程序。本標(biāo)準(zhǔn)適用于有圖形和無圖形的晶片坐標(biāo)系的建立。該坐標(biāo)系用于確定和記錄晶片上的缺陷、顆粒等測試結(jié)果的準(zhǔn)確位置。