本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用激光法非接觸式測(cè)量方形硅晶錠尺寸的方法,包括對(duì)角線、倒角、垂直度、邊長(zhǎng)和長(zhǎng)度。?本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體及光伏領(lǐng)域硅單晶棒或多晶硅鑄錠切割成的方形硅晶錠尺寸的測(cè)量。
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