本標準規(guī)定了硅單晶切割片和研磨片(簡稱硅片)的牌號及分類、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容。
本標準適用于由直拉法、懸浮區(qū)熔法(包括中子嬗變摻雜和氣相摻雜)制備的直徑不大于200mm的圓形硅單晶切割片和研磨片。產(chǎn)品主要用于制作晶體管、整流器件等,或進一步加工成拋光片。
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