本標準規(guī)定了硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷（包括二氯二氫硅、四氯化硅）含量的氣相色譜測定方法。
本標準適用于硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷（包括二氯二氫硅、四氯化硅）含量的測定。測定范圍下限為0.002%。
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