本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純砷的分類和標(biāo)記、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、產(chǎn)品標(biāo)識、包裝、運(yùn)輸、貯存等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)砷為原料，經(jīng)升華、氯化、精餾、氫還原等加工提純后制成的純度不小于99.999%、99.9999%、99.99999%的高純砷。產(chǎn)品主要用于制造砷化鎵等Ⅲ-Ⅴ族化合物半導(dǎo)體、外延源以及半導(dǎo)體摻雜劑等。