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硅單晶切割片和研磨片【作廢】

標 準 號： YB 1603-1983
發(fā)布單位： 中華人民共和國冶金工業(yè)部
起草單位： 洛陽單晶硅廠
發(fā)布日期： 1983-08-18
實施日期： 1984-10-01
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更新日期： 2011年12月19日
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內(nèi)容摘要

????? 本標準適用于制造半導體器件（分立器件和集成電路）的三種等直徑硅單晶切割片和雙面研磨片。用作其他器件的硅單晶切割片和研磨片，可參照本標準確定其相應(yīng)的技術(shù)參數(shù)。

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