本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子束蝕刻機(jī)的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、運(yùn)輸、貯存。
本 標(biāo)準(zhǔn)適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機(jī)。其他專用離子束蝕刻機(jī)亦可參照執(zhí)行。