本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了以電子束為激發(fā)源的俄歇電子能譜(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于俄歇電子能譜儀。
俄歇電子能譜分析方法通則
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