基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 38614-2020
發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 沈陽(yáng)建筑大學(xué)、三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司、廣東工業(yè)大學(xué)
發(fā)布日期： 2020-04-28
實(shí)施日期： 2020-11-01
