本文件給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測項目與相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域，規(guī)定了檢測技術(shù)要求，提供了檢測方法的應(yīng)用建議。
本文件適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測。