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潔凈室及相關受控環(huán)境 第9部分:按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

標 準 號: GB/T 25915.9-2018
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 中天道成(蘇州)潔凈技術有限公司、深圳市吉隆潔凈技術有限公司、蘇州安泰空氣技術有限公司
發(fā)布日期: 2018-06-07
實施日期: 2018-10-01
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更新日期: 2018年12月29日
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內(nèi)容摘要

GB/T 25915的本部分闡明了在潔凈室及相關受控環(huán)境中,按粒子濃度來劃分固體表面潔凈度等級。附錄A~附錄D中給出了關于表面特性的信息以及推薦的檢測和測量方法。
本部分適用于潔凈室及相關受控環(huán)境中的所有固體表面,如墻壁、頂棚、地板、生產(chǎn)環(huán)境、工具、設備和產(chǎn)品。按粒子濃度劃分的表面潔凈度等級(SCP)限于粒徑0.05 μm~500 μm的粒子。
本部分對以下事項未予考慮:
——特定工藝的潔凈度及適合性要求;
——表面的清潔步驟;
——材料特性;
——涉及相互結(jié)合力或通常與時間和工藝過程有關的事項;
——分級和測試統(tǒng)計方法的選擇和使用;
——粒子的其他特性,如靜電電荷、離子電荷、微生物等狀況。

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