本部分規(guī)定了用于定期驗(yàn)證和調(diào)整區(qū)域法表面結(jié)構(gòu)測量儀器的實(shí)物測量標(biāo)準(zhǔn)的特性。
本部分適用于基于區(qū)域法表面結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)鏈，鏈環(huán)G定義的輪廓表面結(jié)構(gòu)和區(qū)域表面結(jié)構(gòu)測量儀器的計(jì)量特性校準(zhǔn)的測量標(biāo)準(zhǔn)。