本標準規(guī)定了進行電子探針分析時的入射電子束、波譜儀和試樣的實驗參數(shù)測定的一般原則，并規(guī)定了束流、束流密度、死時間、波長分辨率、背底、分析面積、分析深度和分析體積的測定過程。