本標準規(guī)定了薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片的要求、測試方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和貯存。
本標準適用于薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片(以下簡稱“基片”)的生產(chǎn)和采購,采用薄膜工藝的片式元件用氧化鋁陶瓷基片也可參照使用。