本文件規(guī)定了半導體行業(yè)用電子級四(二甲氨基)鈦的技術要求、檢驗規(guī)則、包裝、標志及隨貨資料、運輸、貯存及安全信息的要求,描述了相應的檢測方法。
本文件適用于沉積氮化鈦、氧化鈦、碳化鈦和鈦摻雜物等鈦基薄膜的電子級四(二甲氨基)鈦。