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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏件性能參數(shù)測試方法的基本原理,沒有規(guī)定這些方法在實際使用時的技術(shù)細節(jié),測試時可按相應(yīng)的詳細規(guī)范的規(guī)定進行。本標(biāo)準(zhǔn)適用于金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏件性能參數(shù)的測試,其他氣敏件亦可參照使用。