本文件規(guī)定了電子探針顯微分析儀（電子探針)定量分析的儀器設(shè)備、標(biāo)準(zhǔn)樣品、試樣制備、測(cè)量前的準(zhǔn)備、測(cè)量條件的選擇、測(cè)量過程、電子束入射電流的測(cè)量、各元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)的計(jì)算、測(cè)量不確定度的評(píng)定和結(jié)果報(bào)告。