本規(guī)范規(guī)定了氧化鋅電薄膜的要求、質(zhì)量保證規(guī)定和交貨準備等。本規(guī)范適用于聲體波微波延遲線氧化鋅(ZnO)、硅(Si)聲表面卷積器、存貯相關(guān)器使用的氧化鋅壓電薄膜。
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