本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)測(cè)定光伏電池用硅材料中磷、砷和銻含量的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏電池用硅材料中施主雜質(zhì)磷、砷和銻含量的定量分析,其中磷、砷和銻的濃度均大于1×1014atoms/cm3。
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