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微機電系統（MEMS）技術 術語
標 準 號：
GB/T 26111-2023
替代情況：
替代 GB/T 26111-2010
發(fā)布單位：
國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位：
上海交通大學、天津大學、北京航天控制儀器研究所、西安現代控制技術研究所等
發(fā)布日期：
2023-05-23
實施日期：
2023-09-01
點 擊 數：
更新日期：
2023年12月03日
下載地址：
點擊這里
7.37MB
下載點數：
30點（VIP會員免費）
內容摘要
本文件界定了微機電系統器件及其生產工藝相關的術語和定義。本文件適用于微機電系統領域的研究、開發(fā)、評測和應用。
下一篇：
特殊環(huán)境條件分級 第2部分：干熱沙漠
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基于雷電定位系統（LLS）的地閃密度 總則
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Tag:
安全標準
.
微機電
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