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半導(dǎo)體器件 微電子機(jī)械器件 第5部分:射頻MEMS開(kāi)關(guān)

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 42709.5-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 北京大學(xué)、北京必創(chuàng)科技股份有限公司、河北美泰電子科技有限公司
發(fā)布日期: 2023-05-23
實(shí)施日期: 2023-09-01
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更新日期: 2023年11月05日
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內(nèi)容摘要

本文件界定了用于評(píng)估和確定射頻MEMS開(kāi)關(guān)的基本額定值和特性的術(shù)語(yǔ)、定義和符號(hào),描述了參數(shù)測(cè)試方法。本文件適用于各種類(lèi)型的射頻MEMS開(kāi)關(guān),射頻MEMS開(kāi)關(guān)的一般說(shuō)明見(jiàn)附錄A。按接觸方式分類(lèi),包括直流觸點(diǎn)型開(kāi)關(guān)和電容觸點(diǎn)型開(kāi)關(guān);按結(jié)構(gòu)分類(lèi),包括串聯(lián)開(kāi)關(guān)和并聯(lián)開(kāi)關(guān),射頻MEMS開(kāi)關(guān)的幾何結(jié)構(gòu)說(shuō)明見(jiàn)附錄B;按開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)分類(lèi),包括單刀單擲開(kāi)關(guān)、單刀雙擲開(kāi)關(guān)和雙刀雙擲開(kāi)關(guān)等;按驅(qū)動(dòng)方式分類(lèi),包括靜電驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)、熱電驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)、電磁驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)和壓電驅(qū)動(dòng)開(kāi)關(guān)等。射頻MEMS開(kāi)關(guān)在多頻帶或多模式移動(dòng)電話、智能雷達(dá)系統(tǒng)、可重構(gòu)射頻器件和系統(tǒng)、SDR(軟件無(wú)線電)電話、測(cè)試設(shè)備、可調(diào)諧器件和系統(tǒng)、衛(wèi)星等方面應(yīng)用廣泛,射頻MEMS開(kāi)關(guān)的應(yīng)用說(shuō)明見(jiàn)附錄E。

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