本規(guī)范規(guī)定了臥式液相外延系統(tǒng)的術(shù)語(yǔ)、產(chǎn)品型號(hào)及命名方法、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、運(yùn)輸、貯存。本規(guī)范適用于電子行業(yè)光電子器件研制、生產(chǎn)工藝中的臥式液相外延系統(tǒng)。其他行業(yè)的類似設(shè)備亦可參照?qǐng)?zhí)行。