本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅通孔尺寸的幾何測(cè)量術(shù)語(yǔ)和定義。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅通孔尺寸的幾何測(cè)量，其中硅通孔可完全貫穿硅晶圓，也可部分貫穿硅晶圓；硅通孔內(nèi)可含有金屬導(dǎo)體及其他介質(zhì)，也可不包含金屬導(dǎo)體及其他介質(zhì)。