本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEMS壓阻式壓力敏感芯片（簡(jiǎn)稱壓力敏感芯片）的術(shù)語(yǔ)和定義、試驗(yàn)條件、試驗(yàn)的一般規(guī)定、試驗(yàn)內(nèi)容和方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于閉環(huán)和開(kāi)環(huán)MEMS壓阻式壓力敏感芯片性能的圓片級(jí)試驗(yàn)。
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