本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片電阻率的擴(kuò)展電阻探針測(cè)量方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量晶體晶向與導(dǎo)電類型已知的硅片的電阻率和測(cè)量襯底同型或反型的硅片外延層的電阻率,測(cè)量范圍:10-3 Ω·cm~102 Ω·cm。