本文件規(guī)定了聚焦離子束法制備透射電鏡試樣的儀器設(shè)備、環(huán)境與樣品要求、試樣制備和試驗(yàn)記錄。
本文件適用于金屬材料,半導(dǎo)體、礦物等無(wú)機(jī)非金屬材料及高分子材料等固態(tài)材料的透射電鏡試樣制備。?
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