本文件描述了用于測量掃描電容顯微鏡（scanning capacitance microscope，SCM）或掃描擴展電阻顯微鏡（scanning spreading resistance microscope，SSRM）空間（橫向）分辨的方法，該方法涉及使用銳邊的器件。這2種顯微鏡廣泛應用于半導體器件的載流子分布成像和其他電學特性的測量。