本文件描述了離子束輻照誘導(dǎo)應(yīng)變技術(shù)構(gòu)建三維納米結(jié)構(gòu)與器件的加工方法，主要包括加工原理、　材料與設(shè)備、環(huán)境條件、加工方法。
本文件適用于離子束輻照誘導(dǎo)直立納米線和平面納米薄膜的空間應(yīng)變，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)三維空間中由一維納米線和二維納米薄膜構(gòu)成的三維納米結(jié)構(gòu)與器件。