本標準規(guī)定對儀器化納米壓入試驗用儀器的能力要求和試驗的基本方法，還規(guī)定了對儀器校準和檢驗、壓頭、標準樣品的要求，以及儀器柔度和壓頭面積函數(shù)的確定方法，并給出了確定硬度和材料參數(shù)所需的數(shù)據(jù)分析方法和壓頭使用的注意事項。
本標準適用于測試各種體材料和薄膜的硬度、模量等，其壓入深度范圍通常在納米量級，也可以擴展至幾微米。