本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了柔性薄膜基體上涂層（包含有機(jī)、無機(jī)與金屬涂層）厚度掃描電子顯微鏡測量的基本方法及原理、標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備、操作方法、數(shù)據(jù)處理的方法。