本標準規(guī)定了在俄歇電子能譜（AES）和X射線光電子能譜（XPS）中使用惰性氣體離子以保證濺射深度剖析具有好的深度分辨率以及最佳表面清潔效果而采取的離子束對準方法。這些方法分為兩類：一類通過法拉第杯測量離子束流，另一類通過成像方法。法拉第杯方法也規(guī)定了離子束束流密度和束流分布的測量。這些方法不包括深度分辨率的優(yōu)化。
這些方法均適用于束斑直徑小于1 mm的離子槍。