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硅外延層晶體完整性檢驗方法 腐蝕法

標 準 號: GB/T 14142-2017
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 南京國盛電子有限公司
發(fā)布日期: 2017-09-29
實施日期: 2018-04-01
點 擊 數:
更新日期: 2018年02月08日
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內容摘要

本標準規(guī)定了用化學腐蝕顯示,并用金相顯微鏡檢驗硅外延層晶體完整性的方法。

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