本標準規(guī)定了六氟化硫的技術(shù)要求、試驗方法、標志、包裝、貯存及安全等。 本標準適用于硫與氟直接反應(yīng)并經(jīng)精制和純化制備的六氟化硫。該產(chǎn)品主要用作電子工業(yè)中化學(xué)氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等。 分子式:SF6。 相對分子質(zhì)量:146.0564192(按2007年國際相對原子質(zhì)量計算)。