本標(biāo)準(zhǔn)提供了表面化學(xué)分析樣品安裝和表面處理方法的指導(dǎo)。目的是幫助分析人員理解在使用俄歇電子能譜、二次離子質(zhì)譜和 X射線光電子能譜等表面分析技術(shù)進(jìn)行分析時,所必需的專門樣品處理?xiàng)l件。