本標準規(guī)定了用于表面元素和化學態(tài)分析的俄歇電子能譜的動能標校準方法。并且還規(guī)定了校準日程安排,用于在中間某一能量值測試動能標線性、在高低動能區(qū)各取一點確認標尺校準的不確定度、校正標尺小漂移以及規(guī)定在95%置信度時該動能標校準的擴展不確定度(這個不確定度包括實驗室之間研究中觀察到的各種現(xiàn)象,但不涵蓋所有可能的缺陷)。
本標準僅適用于配備濺射清潔離子槍的儀器。不適用于以下情況的儀器:動能標尺的誤差隨能量明顯非線性變化;工作于譜儀的相對分辨率低于0.2%的固定ΔE/E 模式或固定ΔE 為1.5eV 模式時,要求容差極限為±0.05eV 或更小。也不適用于電子槍不能在5keV~10keV 能量范圍操作的儀器。