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電子工業(yè)用氣體 氬

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 16945-2009
替代情況: 替代 GB/T 16945-1997
發(fā)布單位: 國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局|國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設(shè)計院
發(fā)布日期: 2009-10-30
實施日期: 2010-05-01
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更新日期: 2010年05月18日
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內(nèi)容摘要

  本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氬的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運及安全。
  本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態(tài)和氣態(tài)氬以及經(jīng)純化方法得到的氬。
  氬用于系統(tǒng)的吹掃、保護(hù)和增壓,它還可以用于化學(xué)汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。

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